二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808S #9058014 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808S擴散爐是一種先進、高規格的薄膜沈積工具。熱源呈圓周和垂直排列，使薄膜的熱分布均勻，沈積效率更高。單爐提供寬廣的溫度範圍，從100 °C到1100 °C。精確的溫度控制使得這種爐適合許多苛刻的薄膜應用，例如先進的半導體和光伏。該爐的設計也符合嚴格的安全標準，當檢測到溫度不均勻等潛在維護問題時，會發出警報提醒技術人員。此外，住房的設計旨在保護人員免受任何潛在的危險排放，陶瓷帶狀加熱元件的設計旨在優化能源效率。TEL Alpha 808S擴散爐設計有一個可移動的工藝室，使其能夠在不需要移動整個單元的麻煩的情況下進行維修。電介質線圈提供均勻的加熱以獲得最佳的處理效果。腔室具有水平提升機構，確保精確對準，並提供處理小型和大型基板的靈活性。TOKYO ELECTRON ALPHA 808S還包括一系列附加配件。例如,可以添加自動基板處理系統,從而實現工件的高效和準確傳輸。冷卻氣體系統有助於在冷卻過程中保持均勻性，而石墨熱電偶支架可提高較大基板的溫度均勻性。流程可追蹤性也很容易，集成數據記錄系統監控整個制作過程。總體而言，Alpha 808S擴散爐以其先進的加熱技術、精確的溫度控制以及附加的附件，是薄膜沈積的有力工具。其高效的工藝、卓越的均勻性和更強的安全性，使其成為大批量生產先進半導體的理想選擇。