二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9068394 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC是為滿足高通量晶圓加工需求而設計的擴散爐及配套配件。該型號的腔室容積為80升,最高溫度為1250 °C。該爐具有一流的性能,通過穩定、精確的溫度控制、快速的溫度恢復和快速的加熱速率提供晶圓均勻性。爐子有一個綜合工藝監測儀,便於過程監測,也有助於維持環境條件。此外,它還配備了一個可編程控制器,該控制器配備了遠程控制功能,使用戶能夠從遠程位置控制進程。控制器還具有用戶友好的圖形界面,可以連接各種外圍設備,方便個別處理要求。TEL Alpha 808SC還擁有一個先進的控制設備體系結構(CSA),它提供了一個高效、集成的控制系統。此單元具有模擬控制模式,使用戶能夠從世界任何地方控制其流程。機器還可以實時管理多個配方、異步配方,以及在流程參數之間進行切換。擴散爐設計方便安裝維護,並配有自動清洗工具,以減少維護時間。該資產還配備了一個集成的負載鎖,以幫助便於裝載和卸載基板。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC有一個CFRP(碳纖維增強聚合物)腔殼,確保腔室即使暴露在高溫下也能保持其形狀。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC設計具有先進的安全功能,可確保過程的可靠性和安全性。該模型有一個自動冷卻設備,以減少潛在危險的風險,並提供一系列的過程保護系統,以確保過程的完整性。此外,還可以定制TEL ALPHA 808 SC。有了可選的附件,系統就可以升級,以滿足專門的處理需求。這些附件包括額外的負載鎖、石英外殼、QCM傳感器和石英晶片載體/真空源。該單元還可以與其他TEL系統集成,為客戶提供完整的晶圓處理解決方案。
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