二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9104944 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC
已售出
ID: 9104944
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
TEOS Furnace, 8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC是一種擴散爐及輔助產品。它旨在滿足先進半導體制造工藝的需求,並為研發應用開發。TEL Alpha 808SC被設計成市場上最快、最精確的熔爐。它具有8英寸超高速多區爐,允許在室內所有加熱和冷卻區進行高精度溫度控制。該設備實現的精確溫度控制可用於沈積、擴散、退火、氧化等熱處理。此外,該腔室還配備了特殊的石墨敏感器,提供了工藝的卓越均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC的壓力範圍為1-100 Torr,溫度範圍為30-1400 °C。該系統配有晶圓傳輸單元,可將晶圓精確裝卸到爐膛中。它還設計了廣泛的保護措施,如對敏感劑的溫度過高保護、氧化物保護器和各種氣體凈化系統。TEL ALPHA 808 SC還附有直觀的控制機器。它采用符合要求的方法設計,用於工具監控、過程控制和過程診斷。該資產提供實時模型信息,允許對流程流進行完全控制,以確保最佳實現流程結果。此外,控制設備非常方便用戶。ALPHA 808 SC小巧節省空間,非常適合各種中小型實驗室和研究中心。它還包括一個維護和診斷系統,允許快速、方便地訪問操作狀態信息。總之,TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC是一種功能強大、準確、用途廣泛的擴散爐和輔助解決方案,非常適合任何現代半導體制造設施。
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