二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9038744 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一種擴散爐和附件，為特殊的熱處理能力而設計。它配備了多種功能，旨在最大限度地提高工藝輸出，提高可靠性。這包括一個直觀的用戶界面,實現了簡單的操作和維護,以及水平管布局,為水平和垂直應用程序提供了出色的溫度均勻性。該爐還具有「高級均勻性解決方案」,可實現高均勻性過程,減少溫度均勻性的運行時間,並提供卓越的溫度穩定性。它還包括一個噴嘴監視器，以防止在熱過程中可能發生的任何損壞。TEL Alpha 808SD擴散爐設計具有多種安全特性，如隔熱以減少熱量損失和開門概念以盡量減少與熱區的接觸。它還具有一個獨立的真空烘烤室和兩個質量流量控制器，確保樣品的正確處理。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD擴散爐是尋求卓越熱處理能力的用戶的理想選擇。它具有1200-1300℃的高溫和600- 700℃的低溫，以及0.3-300 Torr的廣泛動態範圍。它還具有快速冷空氣冷卻功能，可以減少過程時間，同時保持過程的均勻性。Alpha還具有最大300 mm的晶圓直徑容量，一次最多可處理8個晶圓。Alpha系統還配備了先進的遠程監測系統和模擬數據記錄界面，使用戶能夠跟蹤熱過程的進展和響應。該爐還具有堅固的設計，堅固耐用的結構和堅固耐用的部件。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD擴散爐具有直觀的用戶界面和卓越的功能,是從熱處理中獲得最大生產力的完美工具。無論是高溫過程、低溫過程,還是廣泛的動態範圍過程,Alpha都能確保卓越的性能和可靠性。