二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE #9050117 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE
已售出
ID: 9050117
晶圓大小: 8"
Diffusion furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE是一種擴散爐和附件,其設計使工藝具有靈活性,同時在基材加工中提供高度的重復性和準確性。TEL Alpha 808SE由一個加熱室、一個反應室和幾個輔助系統組成。加熱室采用兩個電阻加熱系統(RHS)和一對氣體噴射系統,以保證室內統一高溫條件。RHS包含高性能加熱元件,能夠產生高達1000攝氏度的溫度,並具有非常低的溫度梯度。這一點通過氣體註入得到進一步加強,氣體註入被輸送到噴嘴,然後註入反應室,反應室將沈積的氣體和熔爐環境混合在一起,產生所需的工藝氣氛。熱量從加熱室中發出,並由反應室中的特殊傳感器監測。此外,該室還配備了惰性環境監測儀設備,以保持高質量的工作環境。反應室還包括一個壓力控制的流動系統,穩定室內的大氣,使過程循環更快,對蝕刻參數有更好的控制。此外,流量單元與排氣機配對,以保證無顆粒物的大氣。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE通過包括機器人基板傳遞臂和七軸機器人臂在內的高精度位移系統提供高效的基板加工。這些由高級控制和監控工具控制,可用於精確控制整個資產。最後,Alpha 808SE附帶了幾個可選的附件,包括用於物料處理的組件交付模型、溫度控制器和數據記錄器,以允許用戶記錄和監視設備的溫度、壓力和其他參數。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE擴散爐是一種可靠的基板加工工具,具有高溫、均勻的溫度分布和廣泛的運動控制選項。
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