二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 858SC #9034384 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 858SC是為重型環境用途而設計的擴散爐及附屬設備。TEL Alpha 858SC具有優異的溫度和均勻性,能夠處理各種材料,用於薄膜沈積、光掩模和其他表面應用。它配備了特殊的清洗系統，允許不間斷的操作和更清潔的結果。此外，它的高精度和精確度使得它在加工各種材料時在實現精細穩定的層厚方面具有顯著優勢。TOKYO ELECTRON ALPHA 858SC利用固態傳感器監測高達1200°C的溫度，確保均勻性和可重復性。利用低電流等離子體源和自下而上的加熱器，該裝置設計為提供高度均勻的溫度分布。爐子的底倒設計通過轉移等離子體流離爐壁來確保溫度的均勻性。為了便於操作,Alpha 858SC配備了觸摸屏顯示器和控制器,其中包括操作員友好的軟件。它包括時間溫度曲線、自動清洗、真空和氣體控制、負載鎖定管理和過程測井等多種特征。該爐可以很容易地連接到各種真空系統（CAB、PEAK和Pfeiffer）、真空計、質譜儀、氦氣泄漏探測器、粒子探測器等診斷系統。集成了一個集成的安全機器,以確保操作過程中的最大安全性。擴展服務、校準和驗證服務確保人員始終安全。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 858SC擴散爐系統是為長期和一致的性能而設計的,在各種工業應用中提供卓越的溫度和均勻性。通過精密的工程和堅固的結構，它能夠比其他擴散爐實現高溫均勻、層厚均勻、壽命更長。