二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #124484 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種高精度擴散爐及配件，可用於多種金屬、半導體和陶瓷膜的沈積。它是研究和生產應用的絕佳選擇。TEL ALPHA 8SZ是一種單晶片熱處理設備，最高工作溫度可達1200 °C。它還具有僅31秒的超快速加熱/冷卻周期時間。這使得熱氧化和沈積等過程的反應時間迅速。該系統還能夠在晶圓表面實現高度的沈積均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z利用淋浴板技術，允許位移型水平沈積。這使使用者有能力以高度的精確度精確控制影片的均勻性。此外,該單元還具有獨特的編程膠片控制功能,可以快速準確地調整膠片特性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z具有低泄漏差壓設計，能夠高效疏散和回填腔室。該機還配備了遠程聯鎖工具，以及環境壓力控制資產，以提供卓越的可靠性和性能。此外，它還包括一個「時空」節氣門，確保精確的氣流控制，以提高工藝的均勻性。ALPHA 8 S-Z配備了高性能IO-Link軟件模型，便於數據采集和控制。它還包括各種配件，包括玻璃板、石英船和載具，以提供任何工藝所需的確切參數。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z是各種熱處理應用的理想解決方案。憑借其卓越的精確度和可靠性，可以幫助優化生產時間，同時還能提供高度的質量控制。該設備使操作員能夠精確控制薄膜特性，提高工藝的均勻性和吞吐量。