二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #104721 待售
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已售出
ID: 104721
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
High-temp furnace, 8"
Process: Oxide
8 cassette stockers
Frequency 60 Interface.-Cassette ¡V 8"-Phase -3 Voltage, 208V
Facilities entry at bottom
Wide Body style, Right sided
Brooks 5964 MFCs
MFC 7 HCl 1 slm
MFC 6 O2 1 slm
MFC 5 O2 20 slm
MFC 4 H2 10 slm
MFC 3 Ar 20 slm
MFC 2 N2 5 slm
MFC 1 N2 20 slm
TS-4000SZ Furnace controller
Varian TEL LR300 Temperature controller
AP Tech O2 and H2 flow switches
HEL Pyro Control
Touch screen operator interface
Load Size 100 wafers-(upgradeable 150)
1200 C Heater Core
Lip Seal, Inner T/C, Linear aligner UP/DOWWN axis slide motions
No variable pitch. Single or five (5) wafers
Boat, CLN ON 07-00202
Cover, Pedestal 07-00204
Pedestal 07-00205
PFA tube (6.35x4.35x1.0T) 06-22014-00-16 inch process Tube
Rapid Cooling
System power rating: 3 Phase, 208 V, 60 Hz
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種多區擴散爐及其附件，主要用於半導體加工。爐子是一個水平導向的，PC控制的爐子，由一個內加工室和一個外殼組成。TEL ALPHA-8S能夠處理小規模樣品，如工件、基板和模具，最大尺寸為25mm x 25mm x 10mm。加工室由鋁合金構成，內部容積為640 x 550x3.5mm（L × W × H）。供熱區由多達6個帶有上下風扇的供熱站組成，以調節溫度，優化均勻性。加熱元件使用最大額定功率為4kW的Kanthal型。該爐裝有兩個獨立的溫度控制系統，一個用於穩態溫度，另一個用於快速熱傾斜或冷卻。穩態溫度精度± 1 °C，快速熱傾角溫度精度± 3 °C。即使溫度提高到200 °C （392 °F）也能保持精度。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S的過程是由高端PC控制器控制，允許高速數據采集和顯示。數據采集可靠、智能，有多套配方和參數。它提供了一個復雜的用戶界面和操作菜單，優化了快速和易於操作。TEL ALPHA-8 S也可用於加工其他材料，如金、銅、鋁和錫。ALPHA-8 S的擴散過程可以根據特定過程的要求進行定制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S系統的附件包括手動測試的氣體流量計、氣體蓄能器、隔熱蓋、氣體流動調節器、氣體壓力開關和清除氣瓶。總之，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是一種多區擴散爐，內部為鋁合金，用於小樣品。它具有兩個獨立的溫度調節系統，可調節風扇以實現均勻的溫度控制，一個用於數據采集和顯示的高性能PC控制器以及各種可定制的過程。配件還有助於最大限度地提高ALPHA 8 S的性能，使其成為半導體工具加工的理想選擇。
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