二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #119701 待售

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ID: 119701
優質的: 1997
Vertical diffusion furnace Currently Configured for Nitride with 8" Notched Wafers 1+5 Wafer Type Integrated Open Cassette Loaders Load Lock System: Yes TS-4000 System Controller Temp. Controller Model M-121 Unit 1660 MFC Controller TEL Model VMM-40-101 Heater Boat Rotation – Inspection needed Signal Tower (Red, Amber, Green) Gas Detector: No Quartz Parts: Outer/Inner Tube, Boat, Pedestal, Fin, Manifold, Shutter, and Cap Covers, One Injector and T/C Port Cover Gas System N2 NH3 SiH2CI2 N2O 1997 vintage As-is, where-is.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是為半導體制造而設計的擴散爐及配件。這種高度精密的設備能夠提供快速加熱和冷卻,同時達到沈積和蝕刻過程中精度和精確度的最高標準。TEL ALPHA-8S由石墨基基座構成,具有內置冷卻設備和高溫過程中溫度控制的吹風裝置。它還包括一個專有的TEL開發的快速加熱感應線圈,它提供500 °C/秒的快速加熱速率,從而無需單獨加熱元件。另外一個氮氣凈化系統提供了額外的過程安全的層除氧精確的反應過程。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S也包含各種可自訂選項,以適應特定的使用者需求。其中包括一個可以調整到不同大小和形狀的晶片支架,以及一個高效的等離子體監測和控制單元。ALPHA-8S還包括一系列溫度傳感器和確保精確溫度調節的智能軟件。它還能夠管理不同的氣流,提供對蝕刻過程的精確控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S是先進半導體技術等精確高溫工藝的理想選擇,包括FD-SOI、FinFET、3D-NAND、內存和顯示膜應用。它也廣泛用於平板顯示面板、薄膜和MEMS設備的制造。因此,TEL ALPHA 8 S在廣泛的制造應用中提供了無與倫比的準確性和可靠性。總之,TEL Alpha 8S擴散爐及其附件是一種用於精確高溫沈積蝕刻工藝的高性能、可靠且可定制的解決方案。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S擁有先進的設計、內置的冷卻機和可定制的選項,是一款功能強大且用途廣泛的設備,適用於各種半導體及相關應用。
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