二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #122684 待售

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ID: 122684
LPCVD TEOS furnace, 8", 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種擴散爐及配件,用於半導體及相關產品的制造工藝。這種爐是專門為矽、氙等材料的先進退火而設計的。該產品是使半導體制造商能夠滿足不斷增長的需求的關鍵要素,以提高其消費者的生產產量和更好的設備性能。TEL ALPHA-8S是一個多區爐,具有大量的獨立加熱元件,最多可達8個。每個元素都能達到高達2000 °C的溫度。它還擁有非常大的供暖能力,高達1000kW。有了這種功率,爐子就能快速達到高溫。這種高功率輸出還伴隨著只有幾kW的低功耗。由於其獨立的溫度控制和先進的熱管理系統,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S可以用於外延沈積、擴散、高溫退火和摻雜等過程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S還具有若幹安全措施,允許過程完整性和免受潛在危害。其中一個是內置警報系統,如果爐子內的任何材料達到臨界溫度,就會向用戶發出警報。爐子還配有冷卻系統,確保爐子溫度保持在安全限度內,即使在高壓下也是如此。ALPHA 8 S能夠通過使用壓力傳感器來控制腔內的壓力,使整個過程更加高效。此外,阿爾法8S還可用於其他幾個過程,包括快速熱處理、氮化和氧化。該爐還與其他幾種設備兼容,如光掩模對準器、晶圓檢測系統和計量系統。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一款可靠多用途的設備,可供那些希望在半導體行業生產高質量設備的各種規模的公司使用。
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