二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190957 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 190957
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Nitride furnace, 8"
Specifications:
Process: Nitride
Software version: TS-4000-1996
Power: 110AC One Phase / 208 AC 3Ph
Loading configuration: 6 loader
Main system:
TS4000 Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
16 Cassette stocker
Temperature Controller (M121)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility & Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
HCL Detector
Auto Shutter
Gas system (NH3, DCS)
Options:
(1) Signal Tower
(2) Pitch Change Mechanism
(3) UPS
(4) GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control Option
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種用於半導體制造的擴散爐及配件。它能夠進行氣相外延（VPE）、選擇性熱氧化和氮化矽沈積，以及自動化LED轉換過程。它具有易於使用的自動化裝載機和集成的計算機控制系統，用於精確的溫度控制和均勻的晶圓處理。TEL ALPHA-8S具有1250攝氏度的標準高溫限值，以及一個多區域溫度控制系統來調節多個區域的溫度。先進的節能設計和最先進的熱區材料保證了高熱性能和更大的工藝均勻性。空氣軸承主軸驅動和深點卡盤確保精確的基板定位和易用性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S還具有直觀的人機界面（HMI）和一系列顯示工具，包括雙6.5英寸顯示器和可縮放GUI，以便於監測工藝參數。其他功能包括用於管線和點熱（LPH）處理應用的多熱控制,以及用於防止因異常使用而導致沈積質量下降的遠程維護。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S利用先進技術和專有軟件最大限度地提高產品質量,同時為工藝優化和產量控制提供效率、成本節約和最佳性能。其低反應性的鋁合金腔室和均勻的渦流和風冷屏蔽使其成為長期循環操作的理想選擇。當與具有價格競爭力的TEL自動基板裝載機結合使用時,ALPHA-8S為客戶提供了用於節點平衡環境的集成控制系統,從而確保了最佳的流程性能。
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