二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE A8SE-ZAR #115117 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE A8SE-ZAR是為多個晶圓工藝應用而設計的擴散爐及附件。用於在多個基板上沈積薄層。該A8SE-ZAR旨在最大限度地提高吞吐量，提供出色的均勻性，並能夠對薄膜厚度和沈積速率進行高精度控制。該A8SE-ZAR基於計算機集成的多晶圓平臺，具有統一的加熱機制。它還配備了多室自動化系統，使其能夠在單個流程周期中支持多個流程步驟。它能夠進行氧化物沈積、擴散、氧化、氮化、金屬沈積、相互擴散、蝕刻和制圖等過程。該A8SE-ZAR采用先進的CCD攝像頭設計，可實現晶片間自動對準和更高精度。它還包括一個窗口CF過濾器，它減少了顆粒物汙染的發生率。這個濾波器更進一步阻止粒子進入擴散室。這有助於改進與擴展運行相比的流程可重復性。A8SE-ZAR的系統內置了流程控制功能。這包括整個腔室的溫度控制，以及氧化和氮化參數。它還有一個專有的擴散配方生成算法，將過程不確定性最小化，產生更統一的結果。該A8SE-ZAR還內置了Endura離線控制功能，允許控制多個配方而不會中斷流程。它還配備了先進的射頻發生器，減少了邊緣效應損失，導致了均勻性，提高了工藝產量。TEL Alpha 8SE A8SE-ZAR是一種可靠的擴散爐和附件,可讓客戶以經濟高效的方式獲得高質量的結果。它結合了高精度的控制和自動化系統，使控制和可重復的過程，具有統一和過程的準確性。它還包括CCD攝像頭、濾波器和射頻發生器等控制功能，這些都有助於提高過程的可重復性和產量。這一先進集成的晶圓加工平臺非常適合現代半導體工業的需求。