二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #9275714 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E是一種用於單晶片和多晶片應用的垂直批處理熱處理設備。它具有元件溫度監測系統和閉環溫壓控制單元。本機設計為提供更高的溫度均勻性和精度.其設計還提供了寬廣的溫度範圍和精確的溫度控制，使其適用於一系列早期至後期的半導體工藝。TEL Alpha 8SE-E是一種單晶片、多批次擴散爐，能夠同時進行擴散和雜質退火。其溫度範圍在200°C至1050°C之間，使其成為包括擴散、氧化、氮化、氮化和退火等多種過程的理想選擇。該爐具有± 1°C或更好的極好的溫度均勻性，允許晶圓的均勻摻雜和熱處理。該爐有一個內置頂部裝載機和氣體流動工具，使用戶能夠控制工作大氣的氣體流動。它由低熱質量、化學惰性材料制成，允許晶片快速熱處理。它還配備了多個提升電機以及一個底部裝載機，以方便爐子的裝卸。晶片裝載在晶片船上，並對齊在六角形的支架上。該資產配備TSS（熱電偶傳感器模型），以最高精度測量晶片溫度。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E也有一個PID（比例積分導數）控制設備，用於精確的壓力和溫度控制，即使在高溫操作。這增加了流程的多功能性和準確性。為了安全起見，系統配備了高溫警報。它的外部裝有安全功能，如密碼鎖定的溫度控制單元，以及可訪問的緊急停止開關。Alpha 8SE-E是一種用途廣泛且精確的擴散爐,可為用戶提供更高的溫度均勻性、精度和控制能力。它具有多種功能，非常適合各種半導體工藝和應用。