二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS #9003694 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS
已售出
ID: 9003694
Furnace, FTP sinter, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE ZABFNS是為先進半導體晶片的高通量退火而設計的擴散爐及附件封裝。它具有8艙垂直爐、基板傳輸設備和一套控制軟件。TEL Alpha 8SE ZABFNS上的8艙垂直爐是一種高溫精密退火裝置,額定溫度範圍為600°C至1300 °C。它包括雙級鹵素燈,容量可在七秒內將溫度提升至200 °C,使退火時間僅為6分鐘。它還具有許多氣流控制系統,從七點壓力校準調節器到擴散細胞質量流控制器,廣泛用於等離子體增強退火。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE ZABFNS的底物傳輸系統允許用戶在高速下達到精確的結果。該單元包括一個創新的線性送貨機,由兩個主要模塊組成:裝載機和卸載機。通過允許在處理步驟之間快速加載和卸載8英寸晶片,加載程序可提供即時操作效率和靈活性。卸載器借助獨特的傾斜卡盤傳輸工具和全自動晶圓車提高速度和吞吐量。Alpha 8SE ZABFNS的控制軟件旨在通過允許用戶遠程監控流程數據、訪問資產信息以及允許手動控制模型操作來最大限度地提高用戶效率和準確性。軟件提供了高度高級的分析和報告功能,包括用於創建、保存和執行標準流程運行的集成配方數據庫。總之,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS是針對半導體晶片高通量退火優化的先進可靠擴散爐設備。它具有8艙垂直爐、基板傳輸系統和強大的控制軟件,以實現最高的效率和精度。
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