二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS #190711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE ZVS是專門為先進半導體應用而設計的最先進的擴散爐及配件。該設備將高效操作與高集成低k電介質膜處理技術相結合。憑借其專利的ZVS技術,TEL Alpha 8SE ZVS可以提供高溫均勻性和極致的產品質量。該系統還有一個專利的負載鎖定機制，允許更高的生產產量和安全操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVS配備了高溫分離器Doortm以及可調節頂部加熱器，以最大程度地控制基板的傳輸方向和加熱過程。這保證了高溫均勻性是在處理高度集成的低k電介質膜時實現的。該爐還裝有垂直冷卻帶單元，以確保工藝室的均勻快速冷卻。另外，該爐還有一個綜合安全快門，可以防止基板的輻照。該機與多種預設工藝配方兼容，可與包括氮氣、APCVD/等離子體、氧氣、H2O等多種源氣體配合使用。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVS還包括一個先進的過程控制單元，使用戶能夠方便地監控和控制處理環境的參數。該工具還與各種精密傳感器兼容，以確保對處理氣氛的精確控制。除了TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE ZVS之外，還有多種可選配件可供選擇，以適應電線鍵合、MEMS和其他先進半導體應用等多種工藝。這些附件包括用於精確、自動控制工藝大氣的空氣管理資產、用於精確定位源基板的源基板振蕩臂以及用於安全處理擴散過程中所需所有氣體的氣體供應模型。ALPHA 8SE-ZVS是一種高度可靠的設備,可在任何連續或批量處理環境中可靠地、可重現地運行。其先進技術提供了高水平的溫度均勻性和過程控制，最終形成了優越的最終產品。TEL ALPHA 8SE-ZVS價格合理,設施齊全,安全性強,是先進半導體應用的理想選擇。