二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #141287 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是專門為先進半導體、MEMS和光伏應用而設計的擴散爐、配件和材料。它具有獨特的設計,具有全前雙插槽插槽加載室,可同時在高達1,200攝氏度的溫度下處理兩個200毫米、150毫米或100毫米晶圓,從而實現高容量處理。擴散爐還具有RF自動提升功能，減少了不必要的腔室裝卸時間，允許更平穩的運行和更高的吞吐量。此外，它還提供了一個可選的自動傳輸臂和視覺系統，允許用戶為他們的擴散過程增加額外的自動化。TEL ALPHA-8SE配備了直觀的人機接口（HMI）等先進技術，以及對爐子提供即時反饋和控制的先進嵌入式控制器。HMI提供了一個幹凈和簡單的UI,並可直接訪問控制和管理爐膛運行所需的信息,如爐膛溫度和壓力讀數。此外，嵌入式控制器還自動調整爐子的工藝參數，以實現最佳實時性能。這種先進的控制技術使得動態適應、優化和對工藝室的不斷改進成為現實。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE還包括一個先進的附件包，其中包括石英型加熱器管、氣體凈化和分配系統、溫度傳感器以及梯形石英盒式磁帶，用於雙插槽裝載，用於多功能可靠的熔爐。該套件的附加功能包括提供改進溫度均勻性的重型石英加熱器、水冷四出口燃氣箱、自動化氣體輸送系統以及PASS聯鎖系統和蒸發器保護等先進安全功能。總體而言,ALPHA 8 S E擴散爐提供了一系列晶圓尺寸和應用的革命性性能和先進功能,使其成為滿足先進半導體、MEMS和光伏應用的挑戰性要求的理想選擇。