二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9083654 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種最先進的低溫低壓半導體擴散爐及配件。這種尖端設備的設計是為了提供準確、可重現的沈積速率，並以監測和控制關鍵工藝參數為後盾。TEL ALPHA-8SE具有高達1.33 Pa的寬工作壓力和200 °C的最大工作壓力,可實現和平、溫度控制的擴散過程,而不會對設備結構產生不利影響。它由不同的部件組成，即加熱室、感光器（爐底）和溫度控制單元。擴散爐的加熱室由不銹鋼構成，並配有用於光學接觸的石英窗。設計中包括石墨敏感器以提供均勻的熱量分布。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE還具有雙邊晶片卡盤，它提供了一個寬廣的支撐區域，以便於處理易碎晶片。溫度控制裝置采用單區和多區杯結構，可在爐內不同位置精確控制溫度。TEL ALPHA 8 S E進一步配備了一個先進的安全系統，用於檢測因故障引起的溫度偏差，從而確保安全運行。ALPHA-8SE擴散爐還具有目標溫度、壓力和總壓力範圍等沈積過程參數的全數字控制功能。控制器可確保目標參數保持在每個處理步驟所需的範圍內,從而提高結果的一致性。此外,流程控制單元還包括數據采集和事件日誌記錄,使用戶可以輕松查看流程參數。ALPHA 8 S E擴散爐及附件耐用，提供優異的效果，非常適合各種半導體制造、研究和一般實驗室應用。該機由優質材料和部件打造而成，促進使用壽命長、運行可靠。ALPHA 8 SE還配備了門閥和排氣法蘭控制等多種附加功能，以確保根據客戶要求實現最大程度的定制。