二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9118909 待售
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已售出
ID: 9118909
優質的: 2004
Diffusion furnace
VAC Pump
Chiller
Vertical furnace
TEL Heater remove / install fixture
Power box
Furnace RCU
Heater VMU
Carrier: 138 wafer slots
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一種專門用於半導體加工的擴散爐及附件包裝。該擴散爐利用先進的控制和監測系統,在半導體加工過程中精確維持工作溫度和腔室壓力。TEL ALPHA-8SE設計為在兩區加熱室中運行,提供均勻的熱特性和優異的性能。真空室由304不銹鋼製造,提供350毫米的曝光室。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE使用氮氣/氙氣/氫氣基大氣來減少半導體材料的成核和碎裂,確保質量結果。擴散過程由隨附的彌漫性Reticle圖像監控系統監控,實時測量性能。該系統對矽晶片在曝光時的薄膜性質提供精確分析,使TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E成為半導體加工最精確的設備之一。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE具有熱控制系統,可編程以允許手動控制或完全自動化。溫度可以從0-1100 °C精確調節,提供受控的熱通量和擴散速率,以實現高效、一致的性能。提供了一個真空視圖端口窗口,用於監控過程。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE包括幾個功能,以確保安全、一致的操作,包括簡化維護和清理組件。其中包括一個由不銹鋼制成的節氣門,以保護閥門免受高溫暴露和氧化。TEL ALPHA-8 SE還提供可選的洗滌器,以減少進入爐子的汙染物數量。TEL ALPHA 8S-E是一種可靠、精密設計的擴散爐,對於先進的半導體封裝至關重要。將自動化、先進的溫度控制和監控相結合,ALPHA-8 SE產生一致的結果,並具有優異的質量.
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