二手 TEL / TOKYO ELECTRON IW-6 #9079167 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON IW-6
已售出
ID: 9079167
晶圓大小: 6"
CVD Furnace, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON IW-6是半導體工業中用於摻雜擴散過程的擴散爐。它旨在促進集成電路芯片中半導體層的均勻摻雜。其設計允許用戶精確控制摻雜過程參數,以達到最大效率和產量。TEL IW-6是一種化學氣相沈積(CVD)爐,配有多區大氣壓化學氣相註入系統。它是一個由幾個爐模組成的水平爐系統。每個熔爐模塊都有自己的加熱器、石英管和凈化氣體管線。這使爐子能夠進行精確的溫度控制,並在大型基板上形成均勻的氣氛。TOKYO ELECTRON IW-6還包括一系列附件,以確保可重復、精確的操作。其中包括熱電偶、溫度控制器、中心電阻探測器、氣體歧管、氧和氫分析儀。除了這些配件外,IW-6還包括一個磁控管,它可以用來將材料濺射到基板上並產生表面修改。TEL/TOKYO ELECTRON IW-6帶有直觀的用戶界面,可輕松直觀地操作。爐子可以用特定的配方和參數設置,這些可以實時監控和控制。用戶還可以在運行時對參數或配方進行調整,並可以記錄數據以供以後使用。TEL IW-6是一種可靠高效的擴散爐,用於許多半導體生產過程。它特別適合於受控的摻雜物擴散過程,允許更高的控制和精度。TOKYO ELECTRON IW-6憑借其先進的特性和配件,是半導體行業大多數擴散應用的理想選擇。
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