二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615 #173224 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615是一種垂直擴散爐，用於包括外延矽和復合半導體在內的多種類型的集成電路。它旨在提供最大的效率和靈活性，以實現最佳的熱處理性能。TEL VDF 615采用基礎集成爐和先進工藝控制等先進技術設計。該爐提供更精確和可重復的溫度剖面，使可靠的熱處理與更低的能耗。基礎集成爐不需要外部加熱模塊，使其更加緊湊和經濟。它也使晶圓傳輸更有效率。先進的過程控制提供了更準確的過程控制和改進的可重復性,從而提高了產量。TOKYO ELECTRON VDF 615還具有高性能加熱器，具有可靠的金屬分離器元件，提供更加均勻穩定的加熱過程。氧化材料還有一種用於精確控制溫度的特殊氧化模式。此外，該爐還具有熱冷墻、脫氣和氮氣大氣控制等多種特點，可控制大氣。VDF 615還包括一套增強用戶體驗的精致配件。這些附件包括晶片拋光和清潔系統、晶片曝光和拆裝系統、晶片支持系統以及區域控制系統,通過允許在整個過程的不同步驟中進行更靈活的溫度控制來提高產量。TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615是任何需要高溫和均勻熱性能的半導體工藝的絕佳解決方案。其先進的技術和通用的配件使其成為最好的擴散爐之一。其緊湊經濟的設計提供了過程優化的靈活性，使制造商和集成商能夠實現其集成電路的最高產量和性能。