二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #168017 待售

TEL VFD 615S是為滿足研究和制造應用的需要而設計的擴散爐及配件。它是一種風冷垂直連續帶式爐，具有變速、頂部和底部的熱區，提供均勻的熱區分布。上下熱區可獨立調節，催化氧化特性允許精確溫度控制。這允許精確的溫度控制和其他工藝參數的精確控制。VFD615S采用5.4升體積的不銹鋼腔室、兩個用於密封腔室的水平密封帶以及兩個頂部和底部的熱區部分，以便進行精確的熱區控制。它還具有集成的絲網印刷玻璃基板加熱區和堅固的催化劑氧化區，確保溫度分布均勻。TOKYO ELECTRON VFD 615S還帶有一個可編程邏輯控制器（PLC），它提供了靈活性和增長參數的精確調節。它配備了具有單點校準的數據采集系統（DAS），提供對均勻溫度分布的精確控制。變頻驅動器允許精確的速度控制，以幫助優化過程重復性和周期時間。該VFD615S設計用於允許或禁用熱區操作的過程監控。它通過兩個獨立的交替操作的雙方向水平密封帶提供對溫度、氣流、電池生長和去除的精確控制,從而在制造應用中提供靈活性。集成的玻璃基板傳遞系統和叠加對準系統使其非常適合實現精確的基板對準和對熱效應的嚴格控制。此外，VFD615S還配備了一個開放的架構，適用於控制多達四條供氣管道。隔熱室和風扇冷卻的內部能耗最小化，二氧化碳排放量最小化，並有助於降低運營成本。最後,它通過兼容的檢修門和先進的監控系統提供了集成到自動化生產線中的功能。