二手 THERMCO 4100 #9046507 待售

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ID: 9046507
晶圓大小: 6"
Furnace system, 6" 4-Stack Can be converted to 3-stack, 8" Can be configured to atmospheric or LPCVD.
THERMCO 4100是為半導體工業退火應用而設計的擴散爐及配件設備。它是一種高效可靠的退火系統,利用獲得專利的擴散大氣和精確的熱控制來產生優異的效果。4100是一種大氣控制退火裝置,能夠處理直徑達150毫米的摻雜晶片和未摻雜晶片。這臺機器非常適合在400°C至900°C的各種溫度範圍內進行高效的矽片處理。它具有全方位的工藝窗口,包括快速熱退火、離子植入退火、毯子擴散退火、撞擊等離子體退火、高真空退火。THERMCO 4100配備了自動大氣控制工具,可持續監測室內環境,對大氣進行精確控制。這種大氣控制確保了退火室內適當的成分、純度和壓力。這種快速但精確的溫度控制對於控制和可重復退火結果至關重要。4100還設有一個「負載鎖」腔室,可有效地裝卸晶片,而無需排氣或打開退火腔室。該過程防止任何汙染物進入腔室,從而確保過程結果的完整性。THERMCO 4100還包括一個高度精確可靠的溫度和壓力控制資產。這包括用於嚴密溫度控制的PID溫度控制器和用於精確端點加壓的壓力調節器。它還具有一個內置的石英監視器,以提供實時晶圓溫度測量和確保最佳的熱性能。總體而言,4100由於其精確的熱控制和高效的晶圓處理,是半導體行業理想的退火模型。它的模塊化設計允許與任何其他兼容的工藝工具輕松集成。由於其用戶友好的編程控制器,它提供了卓越的溫度控制、過程均勻性和可重復性.自動大氣控制和負載鎖定設備確保了清潔和一致的處理環境。THERMCO 4100是實現退火和可重復退火結果的理想解決方案。
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