二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293615044 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一種高度先進的加工反應堆,旨在實現高效和經濟高效的集成設備制造（IDM）生產。它是一個經過優化的多腔系統，提供高通量和基質體積，同時顯著降低等離子體損傷水平。該反應器設計用於支持擴展多種工藝技術，包括熱氧化、氮化物沈積、低k介電沈積和光掩模蝕刻。它包括三個主要組件：主室、載荷鎖和傳遞室。主室配有精密射頻（RF）發電機，配合交流磁場，實現卓越的過程控制和均勻性。AMAT Centura Enabler能夠在從0.02 Torr到760 Torr的廣泛壓力下運行。此外,它還具有多個基板冷卻和加熱階段,以實現熱退火和冷卻過程。這使得熱處理速度更快，並通過提供受控溫度來最大化沈積薄膜的均勻性。適用於APPLIED MATERIALS Centura Enabler的集成負載鎖允許處理更大的晶片，並通過氦套冷指技術進行冷卻。這提供了更快的吞吐量和改進的基板均勻性。負載鎖的環境隔離還可確保高效操作,並確保將無汙染的基板加載到Centura Enabler中。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler還具有一個精密的轉運室。這個腔室有助於精確的基板處理，由三軸機器人操作。此外，轉移室與主室隔離，從而提供了良好的汙染控制和過程重復性。總體而言，AMAT Centura Enabler是一個強大的反應堆，以顯著降低的費用提供高質量的IDM生產。配備了一系列先進技術，提供卓越的性能、生產力和統一性。APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一個功能強大的工具,非常適合IDM生產。
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