二手 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9254126 待售

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ID: 9254126
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Stripper / Asher, 12" 2007 vintage.
AXCELIS/FUSION RapidStrip 320是為半導體制造行業高速生產而設計的先進蝕刻/灰分工藝模塊。此工具可提供高達120埃/分鐘的快速矽蝕刻速率和低溫灰處理,以滿足先進的技術泄漏和介電松弛要求。FUSION RapidStrip 320具有多項功能,例如SmartStrip工藝控制算法,可確保出色的蝕刻均勻性和可重復性,以及高吞吐量的生產模塊,每小時最多可產生500個晶圓。它的雙極性等離子體盒能夠處理任何類型的蝕刻劑,如碳氟化合物、氟矽烷和氟硼烷化學物質,從而確保最大限度地提高使用時間和設備利用率。AXCELIS RapidStrip 320還采用了化學機械拋光(CMP)系統,該系統無需手動研磨、拋光和電鍍步驟,並確保了基板的高精度蝕刻和灰化。其先進的蝕刻控制技術在控制蝕刻速率之前結合了等離子體功率、流速和基材種類等因素。這樣可以確保所有步驟的執行準確、一致且差異最小。這些特點與先進的安全和環境控制相結合,例如清潔區概念,它減少了揮發性有機化合物的排放。RapidStrip 320還采用了高清等離子體診斷系統(PDQ),該系統可連續監控等離子體清潔度並提供實時調整,以確保微粒汙染。AXCELIS/FUSION RapidStrip 320具有先進的技術和用戶友好的界面,是高效生產具有嚴格操作標準的高復雜性基板的理想系統。
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