二手KLA / TENCOR(蝕刻機/ 光阻清洗機)待售
KLA/TENCOR制造的蝕刻器或灰燼器是用於半導體制造工藝的先進工具。這些工具被設計用來從半導體晶片蝕刻或去除材料層,通常是通過基於等離子體的工藝。KLA/TENCOR蝕刻器/分類器以其高精度、高效率和可靠性而著稱。他們利用尖端技術,以最小的缺陷和高通量確保精確的蝕刻。這些工具對各種參數如蝕刻速率、選擇性和均勻性提供了優越的控制,使制造商能夠針對不同的應用實現精確的蝕刻結果。KLA/TENCOR蝕刻器/分類器的顯著優勢之一是其多功能性。它們可用於多種蝕刻工藝,包括介電蝕刻、鎢蝕刻、矽蝕刻等。這些工具還可以容納不同的晶圓尺寸和類型,使其適合各種半導體制造需求。來自KLA/TENCOR的蝕刻器/灰燼的例子包括GES 202和HES 202。GES 202專為矽、介電和金屬薄膜的高密度等離子體蝕刻而設計,提供出色的均勻性和高生產率。另一方面,HES 202針對鎢蝕刻進行了優化,提供了精確的控制和高選擇性。總體而言,KLA/TENCOR的蝕刻器/分貝提供了先進的功能、卓越的性能和靈活性,使其成為尋求可靠和高效蝕刻解決方案的半導體制造商的理想選擇。
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