二手 LAM RESEARCH 4240 #146147 待售

LAM RESEARCH 4240 Asher是一種革命性的蝕刻解決方案，專為先進的半導體生產環境而設計。4240具有優越的加工參數,能夠實現更精細的幾何形狀、更高的產量和大大提高的吞吐量。LAM RESEARCH 4240利用多種技術取得優異的蝕刻成果。其中包括獨立控制溫度的排氣和腔室、確保整個晶片均勻性的內部穩定器，以及主動熱清洗。這使設備能夠達到極端蝕刻速率,而不會影響關鍵參數,例如臨界尺寸（CD）和介電故障。4240系統采用先進的3區線圈輸送裝置。這臺機器在整個晶片上確保恒定的各向異性和均勻性，即使在更高的蝕刻速率下也是如此。此外，這種線圈輸送工具還有利於整個腔室的統一溫度控制，使蝕刻過程一致且高效。這也有助於減少介電故障,並最大程度地減少對後處理調整的需求。LAM RESEARCH 4240還利用多個高級控制器保證精確蝕刻結果。其中包括PID溫度控制器、自適應頻率控制器和高級壓力密度控制器。資產還使用自動旁路過程來最大化吞吐量並防止介電故障。總體而言,4240 Asher是一款功能強大的蝕刻解決方案,非常適合先進的半導體生產。其先進的特性和優越的工藝參數使其能夠實現令人難以置信的精細幾何形狀和高產率。此外,其強大的控制器和3區線圈傳送模型可確保整個晶圓的均勻性,而其先進的旁路過程則使其能夠提高吞吐量,並最大限度地減少對後處理調整的需求。