二手 LAM RESEARCH 9600CFE #9396017 待售

LAM RESEARCH 9600CFE是一種蝕刻/asher設備,它提供高精度的模具級（5 µm）蝕刻和成像功能,以實現最復雜的設備設計。LAM RESEARCH 9600 CFE提供濕式或幹式等離子體蝕刻及其可配置的氣體輸送,從而實現最大程度的工藝控制和準確性。9600CFE與所有主要真空系統和計量工具完全兼容。9600 CFE設計用於低偏轉系數的高分辨率、精密蝕刻。該系統可用於各種工藝挑戰，包括深層接觸蝕刻、淺層溝槽隔離、納米級特征圖樣、細線圖樣以及3D結構的精確蝕刻。它具有模塊化腔室配置,可實現單腔或多腔室蝕刻應用,從而提高效率。LAM RESEARCH 9600CFE還配備了用於低場等離子體放電的集成射頻發生器，提供了更強的過程控制。LAM RESEARCH 9600 CFE先進的自動化和控制系統確保了高生產率和準確性。它具有多站機器人晶圓轉接端口，可快速裝卸，並具有擴展的操作員安全功能。它還具有嵌入式診斷,以持續監控和最大化效率。9600CFE提供了一個全面的軟件程序，允許高度優化預測過程控制。此程序與Windows完全兼容，使客戶可以輕松控制單元並監控進度。用戶友好的軟件簡化了對蝕刻參數的控制過程，提供了保存、檢索和編輯程序的能力。9600 CFE是一種高度可靠且可重復的aher/etcher機器,非常適合前沿設備工程應用。它占地面積小,符合人體工程學設計,非常適合各種環境,包括研發實驗室、工業工廠、半導體設施和大學。LAM RESEARCH 9600CFE具有靈活的可配置性、先進的自動化和預測性的過程控制,是蝕刻精度和可靠性的絕佳選擇。