二手 LAM RESEARCH Exelan A6 #9093942 待售

LAM RESEARCH Exelan A6是一款高級蝕刻器/asher設備,專為蝕刻和灰化工藝而設計。它采用強大的模塊化設計體系結構構建,能夠在苛刻的生產環境中實現高性能和高效的操作。Exelan A6利用精確的蝕刻和灰化技術來創建最精確的基板結構。該系統由具有低壓射頻等離子體腔和高速輸送機的大型、經濟高效的渦輪PECVD（等離子增強化學氣相沈積）單元組成。這臺機器具有高速氣體分配，允許更高的和精確控制的過程速率。LAM RESEARCH Exelan A6的等離子體腔室、射頻發生器和控制器設計為實現高效蝕刻和灰化工藝。腔室體積足夠大，可以容納較大的基材尺寸和較長的加工時間，使其成為大規模生產的理想工具。Exelan A6支持可以精確控制氣流、壓力、溫度、射頻功率等工藝參數的先進自動化。該軟件允許用戶配置最多20個獨立的流程配方,這些配方可以保存並重新用於將來的處理。這些集成的自動化功能能夠跟蹤流程配方、監控流程以及診斷處理過程中可能出現的任何問題。集成的潔凈室和隔離系統使LAM RESEARCH Exelan A6能夠在清潔環境中運行。憑借其內置的安全功能和先進的診斷,資產可以在發生緊急情況時自動關閉,並能夠檢測和報告任何問題,如異常壓力、溫度過高和功率幹擾。Exelan A6為制作蝕刻和灰化工藝提供了可靠高效的平臺，允許與其他工藝（如光刻、壓花、真空工藝和其他相關工藝）集成。最終，該模型可以快速、輕松地為各種工業加工微型和納米尺寸的基板結構。