二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #138939 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是為了在半導體製造過程中生產晶圓、光掩模、基板和封裝而設計的蝕刻器/灰化器。LAM RESEARCH TCP9600的設計考慮了特定的工藝參數，是為需要高均勻性和電介質均勻性的最困難的基板而設計的。TCP-9600旨在提供更高的吞吐量、更高的蝕刻質量和更好的過程控制。LAM TCP9600 蝕刻器/asher采用先進射頻優化蝕刻技術的高性能晶圓加工室。TCP 9600腔室的尺寸可一次容納多達12個晶片,並配備可調節的射頻功率和頻率,以精確控制蝕刻過程的選擇性和均勻性。蝕刻器/asher還具有集成的高頻模塊,以確保對關鍵氣體不產生潛在影響。LAM RESEARCH TCP-9600的設計符合SEMI S2合規性標準,並且完全模塊化。這樣可以輕松修改和配置蝕刻器/asher,以滿足客戶的特定要求。LAM RESEARCH TCP 9600還具有專有的射頻控制系統,該系統旨在優化蝕刻速率和邊緣輪廓,以實現一致、可靠和可重復的結果。送入腔室的射頻頻率、功率水平和氣體都是可調的，允許對大多數材料進行獨立優化。LAM RESEARCH TCP9600還采用了同步、多氣體的單聲道工藝，不僅提高了精度，而且減少了整個蝕刻過程的總時間。最後,TCP-9600蝕刻器還具有高性能的抗反射塗層（ARC）模塊,在處理石英、聚酰亞胺和其它電介質等材料時,該模塊可實現更高的蝕刻速率和更高的選擇性。這樣可以確保ARC塗層均勻分布在基板表面上,從而提高鋁箔的質量。綜上所述，TCP9600 蝕刻器/asher是專門為生產晶圓、光掩模、基板和封裝而打造的精密蝕刻工具。性能和可靠性不受限制,因為此設備是按照SEMI S2合規性標準構建的。TCP 9600通過其先進的射頻控制系統和可調參數，在不同的基材和條件下提供了最佳的蝕刻速率和最優均勻性。