二手 PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10R #9259208 待售

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ID: 9259208
優質的: 1999
Dry etcher EBARA AA10N Dry pump Pumping speed: 1300 l/min TAITEC UC-70P Chiller Gases: CF4, CHF3, CI2, BCI3, O2, N2 Diameter of lower electrode, 10" EDWARDS STP-H803C Turbo pump 2CN-H803C Turbo controller VLR 700 VAT Gate valve Operating system: Windows NT Workstation 4.0 Power box Cabinet Power supply: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase 1999 vintage.
PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10R是一種先進的蝕刻器/asher,設計用於大型工業應用中的最佳性能。它具有一個10英寸的歧管托盤和一個7個工作室設備,可以完全控制蝕刻和灰化過程。該VLR 702-PM擁有令人印象深刻的± 0.5 µm的精度,允許極其精確的蝕刻結果。此外,± 1.0 µm的精度可確保整個工作盤的均勻性。VLR 702-PM配備了一個先進的可編程控制器,提供多達16個內存存儲,並提供各種作業的9種配方。此外,此控制器還可以輕松設置和調整蝕刻/灰化參數,包括電源、氣流、偏置和其他特定於作業的設置。所有設置和結果都可以通過VLR 702-PM的圖形用戶界面實時監控。除了這些功能外,VLR 702-PM還配備了一個精密的安全系統,旨在保護用戶和機器免受傷害。這包括蓋子鎖定機制、無鑰匙扳機鎖定和緊急停止按鈕,允許在所有蝕刻/ashing作業中獲得最大的安全性。軟件和硬件經過優化,可提供最大程度的蝕刻和灰化質量和性能。VLR 702-PM配備了高性能電機和一套精密鍛造的不銹鋼噴嘴,確保等離子體分布在整個小間隙區域。計算機控制的高精度壓電調制器和可調氣體濾波器都確保不會將任何汙染物引入灰化過程。為了最大程度地方便,VLR 702-PM有一個內置排氣裝置,在整個過程中收集和提取釋放的蝕刻/灰化氣體。這樣可以防止有害物質堆積,促進用戶安全和整體設備性能。總體而言,VLR 702-PM 770I-10R是一款先進的蝕刻器/asher,為工業蝕刻和灰化應用提供卓越的質量和性能。此機器提供卓越的精度、卓越的安全性和卓越的用戶便利性,確保快速、精確地完成蝕刻/灰化作業。
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