二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-HV #9190560 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV是一款高性能、高生產率的蝕刻設備，設計用於半各向同性蝕刻、各向異性蝕刻、超高縱橫比淚珠蝕刻、銅（Cu）柱蝕刻等工藝中最嚴格的要求。它是一種單晶片並行等離子體蝕刻器（或「asher」），具有一系列的功能，可以提高吞吐量和擴展過程模塊-從標準蝕刻作業到更高級的過程。TEL Formula-HV利用創新和高效的工藝技術來實現高質量、穩定和可重復的蝕刻配置文件。該系統的高級控制功能提供了復雜、高精度的蝕刻,以滿足非常大且極深的蝕刻工藝的要求。用TOKYO ELECTRON Formula-HV實現的蝕刻均勻性在業內名列前茅。Formula-HV配備了多個射頻源，使得蝕刻過程可以針對特定的應用量身定制。這提供了一定程度的靈活性，提供了比傳統蝕刻系統更廣泛的蝕刻可能性。該單元還提供了廣泛的調節參數，使用戶能夠調整等離子體、離子和電極電源，以獲得最佳效果。TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV的精密自動化消除了關鍵應用的人工操作員幹預。它允許對蝕刻深度和特征輪廓進行非接觸、可重復和準確的過程控制。該機器還具有增強的診斷和維護工具,使用戶能夠快速輕松地診斷和維護資產。TEL Formula-HV還附帶了一整套用於數據采集和分析以及配方開發和流程優化的軟件工具。它與多個蝕刻掩碼兼容，包括亮場掩碼（用於淺蝕刻）和暗場掩碼（用於深蝕刻）。Asher還提供了多個屏蔽offert,允許用戶為其特定應用程序自定義模型。TOKYO ELECTRON Formula-HV是一款先進、高性能、可靠的蝕刻器，為要求最苛刻的應用提供精確穩定的蝕刻。其先進的控件、廣泛的調整參數和靈活性為用戶提供了各種各樣的蝕刻可能性。其先進的自動化和全面的軟件套件使用戶能夠快速輕松地開發和優化其流程。