二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293622284 待售
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單擊可縮放
ID: 293622284
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Vertical furnace, 12"
Process:
NH3
DCS
SiGe
C2H4
HF
20% F2 with N2
TiCl3 liquid
Operation panel
IO Unit
Exhaust box
Power box
Heater
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一種通用的蝕刻器/asher，用於半導體制造。它是一種感應耦合等離子體基（ICP）蝕刻器/asher，使用先進的技術穿孔無窗蝕刻設備，達到高精度、高品質的蝕刻和灰化效果。TEL Indy-I-L具有強大而穩定的高頻電源,可為蝕刻表面提供精確的功率,並具有卓越的重復性。這種精密的功率控制允許對低溫多晶矽、鈷等難以加工的材料進行蝕刻。該裝置還具有先進的大氣控制系統，能夠在反應室中保持正常和穩定的壓力。腔室同時配有壓力傳感器和壓力調節器，允許精確的壓力控制。TOKYO ELECTRON Indy-I-L還配備了TEL專有的RIE SPRON-H技術，其開發目的是提供盡可能高的蝕刻速率和工藝均勻性。這項專有技術將蝕刻率提高了高達40%，允許更短的周期時間和更高水平的可重復性。Indy-I-L上的蝕刻工藝由該單元先進的自動化配方管理單元進一步優化。通過提供每個蝕刻周期階段的精確工藝時間和能量，機器確保所產生的產品符合所有制造商的規格。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L的設計具有最大的靈活性和適應不斷變化的生產要求的能力。該單元可以針對單個和多個晶片負載進行設置，專用硬件可以快速輕松地進行更改，以適應不同尺寸的基板。TEL Indy-I-L旨在為芯片制造商提供可靠性和成本效益，使其成為半導體制造的寶貴工具。憑借其先進的設計和精密的控制工具，該裝置非常可靠，能夠提供一致、高精度的蝕刻和灰化效果。
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