二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293643279 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是由日本半導體生產設備制造商TEL開發的蝕刻器/asher。廣泛用於磁性和復合半導體材料的蝕刻和沈積，有多種應用。TEL Indy-I-L配備了廣泛的功能，用於最大300 mm的大型晶片的均勻蝕刻和沈積。TOKYO ELECTRON Indy-I-L利用創新技術促進高效、穩定、均勻的加工。它配備了先進的技術，包括變溫射頻（RF）電源和激光幹涉控制，以確保均勻的蝕刻和沈積，以及光學和地形反饋控制，以確保可重復和穩定的結果。此外，它的智能控制器功能允許定制和自動控制蝕刻和沈積過程。Indy-I-L具有較大的1,200L腔室容量，設計用於提供廣泛的蝕刻/沈積範圍。它能夠使用50mA/m 2 RF電源處理高達900 °C的溫度,以及高達2.5kV直流（直流電流）偏置電壓。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L可以蝕刻和沈積多種廣泛的材料，包括稀土和重離子腸矽酸鹽、矽、鈦、鋁等金屬，以及化合物半導體如砷、磷化銨和氮化鋁。TEL Indy-I-L也有業界領先的45​​的了/min蝕刻速率，以及高達20 nm/min的易於調節的沈積速率。此外,它還具有高達40個晶片的多個晶片群集處理能力,具有很高的生產率。TOKYO ELECTRON Indy-I-L可以用於各種不同的蝕刻和沈積應用，從專門的半導體應用到日常消費電子的生產。Indy-I-L用戶友好，設計高效操作。其直觀的用戶界面和簡單的蝕刻/沈積控制功能為過程提供了簡單的設置和準確的控制，而其自動停止功能則有助於降低成本和提高蝕刻/沈積過程的可靠性。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一種功能強大、用途廣泛的蝕刻器/灰化器，旨在為各種應用提供高效、穩定、均勻的各種材料蝕刻/沈積。它是任何半導體制造設施的完美補充。