二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #293585847 待售

ID: 293585847
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Vertical LPCVD Furnace, 12" Wafer production equipment Process: MLD Nitride CIM: SECS-GEM KHI Handler system (2) FOUP Factory interfaces Operation system: Gas detector box Rapid Colling System (RCS) Power box 208 VAC UPS 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY IRAD是一款精密的蝕刻器/asher,專為高容量的一代高級光刻圖案而設計。其精密的圖樣設計和優異的蝕刻性能為當今半導體制造工藝中的各種電路提供了可靠和可重復的結果。TEL Indy IRAD配備了堅固的氣體輸送設備,提供高效準確的蝕刻劑輸送,實現高效使用。這確保了可靠和可重復的平版印刷模式,並增加了工藝的均勻性.該系統可以配置為容納廣泛的基材,為用戶提供了一次蝕刻各種材料的靈活性。這種全面的蝕刻溶液能夠處理材料,包括矽和,以及許多介電和金屬層。TOKYO ELECTRON INDY IRAD還有一個優越的離子蝕刻單元,基於一個具有定向匹配網絡的RF驅動場。該網絡能夠改進對蝕刻物種均勻性和鈍化控制的控制,同時降低材料在錯誤位置蝕刻的風險。為確保最佳性能和可靠性,Indy IRAD還配備了高級診斷和監控功能。這些工具使用戶能夠不斷地監控工藝條件,並準確地調整參數以優化蝕刻結果。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD的自動化操作使機器更易於操作和維護,為用戶降低了維護成本。這樣可以節省清潔和預防性維護等任務的時間,並允許完全自動化的批量生產過程。因此,TEL Indy IRAD是尋求高精度蝕刻解決方案的公司的理想選擇。
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