二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9268836 待售

AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一款先進的曝光設備，設計用於半導體行業的掩模圖像寫入。該系統提供快速可靠的圖像寫入能力、出色的邊緣放置控制和卓越的吞吐量。FUSION M200PCU具有精確的激光控制和優異的線寬精度,使半導體芯片制造商能夠滿足其生產需求。該裝置設計緊湊,安裝方便。光學配置由大功率、高速UV激光源、掃描頭、成像光機和高分辨率電子束（EB）束偏轉工具組成。掃描頭利用雙軸偏轉資產,允許對光束傳遞進行非常嚴格的控制,從而產生可靠、精確和可重復的成像特性。AXCELIS M200 PCU提供多變的磁場尺寸板,以允許不同的磁場時間和不同的基板尺寸。它還允許整合變速、均勻和非均勻成像場、靈活成像場大小等特殊特征。該激光源可提供低汙染、低功耗的高性能。激光源采用先進的脈沖波調制模型，保證了長期的可靠性和穩定性。激光源還結合了一個內置冷卻單元，以盡量減少熱降解。EB設備的設計可在較長時間內提供出色的圖像重復性和均勻性。它具有改進的電子源和高分辨率、高精度的偏轉器，能夠精確控制圖像的放置，非常適合晶圓圖樣的應用。AXCELIS/FUSION M200 PCU旨在為半導體工業中的掩模成像和晶片陣列應用提供靈活性和卓越性能。其精密的激光控制、高精度的EB系統以及先進的設計特點，使其成為滿足制圖和光刻工藝開發需求的絕佳選擇。