二手 AXCELIS / FUSION Rapid 320 FC #9202024 待售

AXCELIS/FUSION Rapid 320 FC是一款高性能的緊湊曝光設備,旨在提供光刻工藝方面的卓越性能。它能夠提供高達32度的現場覆蓋（FC）和超過2.5µm的分辨率,從而在晶圓上實現更清晰的模式。該系統非常適合在直徑不超過200毫米的晶片上進行微波生產和其他常規光電池應用。FUSION Rapid 320 FC采用強大的汞燈光源，發射波長為365nm的紫外線輻射，是光敏化學中使用的理想能量範圍。它還配備了先進的色差校正（CAC）技術，能夠在全場使用更高的數值孔徑，同時保持良好的聚焦位置精度和較低的像差。AXCELIS Rapid 320 FC的自動化過程控制模塊通過快速和受控的曝光過程促進了長期可重復性。它還提供可實時調節的精確波長穩定，在曝光單元內保持一致的曝光劑量。該單元配備了集成的Coats計量機，用於測量晶片在曝光過程中的聚焦位置。除此之外,Rapid 320 FC旨在提高生產效率。其緊湊的設計使您能夠輕松集成清潔室布局。它還可以方便地維護工具,從而加快現場支持響應並縮短停機時間。此外,AXCELIS/FUSION Rapid 320 FC還提供了出色的曝光精度和可重復性,並具有高精度的快門響應時間和脈沖寬度。其晶片處理能力也值得註意，因為它能夠支撐尺寸達200毫米的塗層晶片。此外，由於其高分辨率和出色的可重復性，該資產的設計目的是減少耐耗性。總體而言,FUSION Rapid 320 FC是一款出色的曝光機型,可提供高性能、精確度、靈活性和更高的效率。它非常適合電子制造業中廣泛的光刻應用。