二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #149571 待售

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ID: 149571
High current ion implanters, 4"-6", missing parts 160 kV Includes: (2) Disks (1) Complete Ion Source (2) Cryo 10 (1) Diffusion Pump (3) Mechanical Pumps Computer and Custom Tables Spare assemblies Does not includes AT-4 loader De-installed.
EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160是一款先進的離子植入器和工藝監視器,設計用於將各種材料植入各種基材和其他表面。它能夠在各種植入條件下提供準確可靠的數據,並確保植入質量一致。設備由離子源、電源和監控器組成,為用戶提供全面的離子束處理解決方案。離子植入器由交流/直流電源供電,可提供從0到10kV的一系列工作電壓。這與專利的「電荷中和系統」相結合,確保植入後不會在基板上留下意外的靜電荷,從而降低出現缺陷或材料殘留的風險。該單元還配備了一個高壓氙室,允許更高的植入物劑量和改進的均勻性。該監視器旨在提供實時植入參數,並能夠顯示最新的植入信息。這樣可以快速有效地優化植入過程。此外,該監控器還與統計過程控制(SPC)機集成在一起,該機記錄隨著時間推移的結果,使用戶能夠了解長期趨勢並作出相應調整。AXCELIS NV10-160是市場上最先進的離子植入器和工藝監測器之一。它提供了對植入過程的特殊控制,有助於確保一致和可靠的結果.在您的流程中實施此工具可以幫助降低缺陷率,最終提高生產和成本節約。
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