二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9275794 待售

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ID: 9275794
優質的: 1990
Medium current implanter Missing and broken parts CTI CRYOGENICS 8500 Compressor Cryo-Torr 8 Cryo pump Dry pumps: EDWARDS QDP80 EDWARDS QDP40 + QMB250 Power supply: 200-208 V, 50/60 Hz, 6.6 kV, 3 Phase Process gas: BF3, PH3, AsH3 Power supply: 208 V, 70 A, 3 Phase 1990 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A是由Eaton Corporation開發、行業專業人士信賴的先進離子植入器和監控設備,性能可靠,吞吐量高,控制精準。AXCELIS NV 6200A裝置由一個由具有射頻能力的源組成的源以及能夠精確輸送離子的組件組成。這樣就可以實現高電流密度,而穩定的劑量、電流和能量是很容易實現的.此外,集成掃描技術、二極管激光技術和脈沖激光束(PLB)使EATON NOVA NV-6200A能夠精確控制光束特性,包括光斑大小和形狀。此外,NV-6200A還具有獲得專利的數字光束控制(DBC)系統,該系統提供可調光束電流,使操作員能夠微調最終應用程序的要求。這與一個先進的軟件包相結合鼓勵最大的離子利用率,同時最小化離子束像差。EATON NOVA NV 6200A實現了高度一致和極其精確的結果,具有出色的可重復性,不需要特殊技能。在用離子為槍充電後,該單元被設計用於晶圓加工和植入模式的完全自動化。對於有高端植入需求的廠商來說,它可以被定性為經濟實惠的裝置。此外,AXCELIS NV-6200A方便用戶使用,並提供一系列腔室功能和環境控制,如低汙染抽水和溫度控制。因此,這臺機器非常適合植入各種各樣的材料,如Si、GaAs、InAs,甚至生物材料。NV 6200A是一個令人印象深刻的離子植入器和監視器工具,以一個有競爭力的價位提供理想的性能。它得益於可調的光束電流和精密的掃描技術,為用戶提供了對植入模式的完全控制。此外,該資產可靠、自動化、用戶友好,具有極好的可重復性,是行業專業人員值得信賴的選擇。
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