二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #293615032 待售
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ID: 293615032
晶圓大小: 8"
Ion implanter, 8"
Source module:
Gas box:
Gas line-1: HP(Ar), Tylan
Gas line-2: HP (BF3)
Gas line-3: MKS, SDS, PH3
Gas line-4: MKS, SDS, ASH3
Isolation transformer: Oil type
Injector module:
Source type: ELS / Non-vaporizer
Extraction electrode type: 3-Axis electrode
BOC EDWARDS STP-2000C
EBARA 40X20 Dry pump
Facilities module:
Machine transformer: Dry type
Triple loops chiller
AFFINITY CWA-300L-VHE-3LP, P/N:10185
AFFINITY RWA-012T-BE03CB Disk chiller
(2) CTI Cryogenic 9600 compressors
Linac module:
Injector faraday
(2) LEYBOLD Turbovac 1000C Turbo pumps
EBARA 40X20 Dry pump
(4) RFG-3000
(6) RFG-3001
FEM Module:
FEM Power: EMS:03-165-2-D, P/N:00473110
EMS: 03-165-2-D, P/N:00473110
FEM Guss: P/N:1182890
Endstation Module:
307 Type controller
Ion gauge type: Tube glass
4-Axis In-Air controller
4-Axis Robot controller (Macobot controller)
4-Axis Y-Scan controller
4-Axis Cyro controller
Universal dose controller
Disk module:
CTI-CRYOGENIC OB-8
CTI-CRYOGENIC OB-10
CTI-CRYOGENIC OB-250F
EBARA 40X20 Dry pump
Flag faraday
In-Vac arm
Wafer holder
Gyro
Linear drive
Disk faraday
Resolver faraday
Disk model: Si coating
Rotary motor type: Belt drive
Vacuum cassette elevator type: GRTV
Notch finder
Dummy cassette
Load buffer
E/S Elec rack / Quad console module:
Quad rack module
Quadruple power supply
(5) Quadruple power supplies
E/S Elec rack module:1178580
Cell controller model: 133, P/N:1191297
Ground DI
DI Power conditioner
Gyro controller
Loadlock controller
DEXON / PN:19077660 / Flow hood.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE是為離子束植入應用而設計的最先進的離子植入器和監控器。該設備設計用於半導體制造過程,能夠植入高質量的離子,並具有超精確和可靠的結果。該系統利用高能、高壓離子源和一系列先進的功能,準確可靠地註入小劑量、明確定義的離子。GSD-HE單元的離子源是具有三軸磁體構型的高度可靠、高能、高壓離子源。該離子源能夠產生高達2.1 MeV的脈沖離子束和高達2.3 MeV的連續束,並且能夠產生最高質量的離子註入。離子源配置性強,能夠通過用戶輸入設置實現各級植入深度、角度和能量。GSD-HE還使用了一系列高級功能來確保準確可靠的結果。該機配備了離子束綜合監控工具,可實時監控束強度、束形狀、能級、植入離子數量等所有臨界參數。這使用戶能夠獲得最準確可靠的結果。資產還有各種警報和安全系統,以保持模型安全運行,以及自動切換功能,提供植入和監控設置之間的自動切換。除了所有這些功能外,GSD-HE設備還提供了一系列高級功能,以提高任何植入過程的速度、準確性和可靠性。這包括一個自適應掃描系統,允許更快,更高效的植入,以及能夠編程單元在一個周期內執行多個植入。GSD-HE也有一系列的高性能控制和診斷工具,以確保可靠的結果,例如FAT取樣工具為日後的掃描取樣以驗證植入的準確性,以及內置的校準模式以確保植入的準確性和可重復性。GSD-HE是一種可靠、高性能的機器,它為用戶提供了廣泛的高級功能以優化其植入過程。它擁有多種監控系統,是經驗豐富和缺乏經驗的用戶的理想選擇。結合其最先進的組件,GSD-HE是高質量、可靠植入效果的理想選擇。
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