二手 THERMA-WAVE DT-360 #9126377 待售

THERMA-WAVE DT-360是一種高端離子植入器和顯示器，旨在最大限度地提高離子植入過程的效率。它主要用於半導體和微電子工業。DT-360提供了高效、精確和經濟高效的離子植入解決方案。THERMA-WAVE DT-360旨在滿足離子植入過程的苛刻需求。它能夠提供多達八種不同的射束選擇，從高能射束到低能射束。這使DT-360能夠實現廣泛的植入深度。它還提供了可調的光束大小，這使得能夠創建一個範圍的摻雜或區域。THERMA-WAVE DT-360還配備了離子監控器設備，可以精確測量和控制植入物參數。用戶可以監控光束大小、電流、電壓、腔室氣體、溫度、植入時間和光束電荷水平。這樣可以實現更一致的結果和對植入物輪廓的精確控制。DT-360還提供了較高的吞吐量速度,從而實現了更快、更高效的植入。這使得THERMA-WAVE DT-360需要高精度和高通量速度的過程的理想選擇。此外,DT-360還有一個內置數據記錄系統,可記錄多達500次運行。該數據記錄單元有助於提供所有植入的全面記錄。這些數據可以被分析，以提供洞察離子植入器的性能和確定哪些過程是最有效的。THERMA-WAVE DT-360還配備了安全功能。它有一個內置的氣體洗滌器，從腔室中清除不需要的顆粒。它還有一個緊急斷電開關，在緊急情況下立即關閉整個機器。總體而言，DT-360是一個高度先進和可靠的離子植入器和顯示器，旨在滿足離子植入過程的需求。其可調的光束尺寸、內置的監控工具、高吞吐量速度和安全特性使其成為要求苛刻和精確的過程的理想選擇。