二手 VARIAN 350DE #69341 待售

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ID: 69341
Mid current ion implanter, 4"-6" Set for Phosphine, BF3, and Arsine Standard configuration 1985 vintage.
VARIAN 350DE是一種全自動離子植入器和監控器,廣泛用於高精度離子植入過程。其優越的精度和速度使其成為各種應用的理想選擇,從微電子器件到材料研發。350DE具有先進的掃描控制和自動化功能,能夠實現非常高的精度。可變植入參數可以精確調整,快速高效地產生所需的最終結果。該系統允許一個可調節的離子束點大小,允許不同的層和功能跨越晶片,而無需切換到不同的機器。VARIAN 350DE配備了高精度的離子源和監控器。利用獨特的數字光束剖面可控離子源,精確度高,即使植入時間長,也能保持光束剖面穩定。此功能可確保植入的離子劑量始終保持在目標範圍內,並且增加整個晶圓的植入均勻性。350DE提供可調節的植入參數範圍,包括束電流、電壓、束形狀、停留時間和植入離子深度。該系統每秒最多可處理5,000個離子,因此非常適合高吞吐量應用。它還具有廣泛的外部控制功能,允許在多個植入物運行中進行快速、高效的操作。VARIAN 350DE極其可靠且無維護,需要簡單且不頻繁的校準。它帶有全面的文檔和特殊的編程軟件,因此用戶可以輕松地控制和調整其植入過程的參數以獲得最佳性能。總體而言,350DE是一種功能強大、用途廣泛且高度精確的離子植入器和監視器,可為各種植入物應用提供精確和可靠性。它具有高速度、可靠的精確度和廣泛的外部控制功能,是希望獲得最佳植入效果的研究人員和工程師的理想選擇。
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