二手 VEECO IBD-350 #9040552 待售
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ID: 9040552
Ion Beam Deposition System
Main Unit:
(1) Deposition Chamber 0.2 cubic Meters, Pressure = -1Bar
(1) Deposition Chamber 0.75 cubic Meters, Pressure = -1 Bar
(2) Q Leybold MAG 2000 Turbo Molecular Pumps, (1) CTI Cryogenics ON-Board 8F Cryopump
(2) Amtek Process Instrument Dymaxion Dycor Residual gas Analyzer Mass Spectrometers
Control Racks with the Following Combined Components:
(4) Triplite Smart UPS Rack Power Supplies
(4) Rack Servers
(1) LCD Monitor
(1) Raritan Master Console MX Module
(3) CTI Cryogenics Controllers
(1) Pfeiffer Model TCP380 Vacuum Controller
(6) Sorenson Model DCS60-18E Power Supplies
(2) Sorenson DCS600-1.7E
(1) Netview KVM Switch Solutions Controller
(1) Hiden Analytical RC Interface Modules
(3) Spellman SL1200 Controllers
(2) RFPP Model RF20MWC Plasma Generators
(2) Leybold Mag Drive 2000 Controllers
(1) Sorenson DCS20-150 Power Supply
(2) Spellman SL300 Controllers
(1) RFPP Model RF20M Power Supply
Support Equipment to Include:
(1) Neslab HX-150 Recirculating Chiller
(1) Polycold R2000 Series Model PFC-1100-LT, 2004 vintage
(2) Edwards QDP40 Dry Vacuum Pump Systems with Q-Series 2MCM Interface Modules
(1) Edwards QDP80 Dry Vacuum Pump System with a Q- Series 2MCM Interface Module
(3) CTI Cryogenics Model 9600 Compressors
(1) Polyscience Recirculator
(1) Power Cabinet with a 5HP Internal Motor.
VEECO IBD-350是一種高精度的離子銑削設備，旨在實現各種各樣的納米加工應用。該系統使用聚焦離子束（FIB）銑削來去除基板上的材料,從而創建高精度的垂直輪廓。這一單元有各種離子源，包括，，，和氦氣，允許各種應用和底物的適當選擇。VEECO IBD 350具有微米和納米級分辨率以及高濺射速率。它可以切割成廣泛的材料和基材，包括有機、無機、金屬材料，穩定性和精確度都很好。其集成的高分辨率透射電子顯微鏡（TEM）屏幕能夠快速確定要銑削的區域，使采樣過程更加容易。此外,該機器還可以在X-Axis或X-Y-Axis同時模式下輕松操作,從而使用戶可以靈活地選擇適當的銑削過程範圍和深度。IBD-350還具有直觀的控制工具，可以快速、方便地設置、操作和監控離子銑削過程。該資產對光束電流、光束大小、功率密度、脈沖長度等過程參數提供了強大的控制,可以對其進行調整以提供最高精度和可重復性。該模型的軟件還允許用戶存儲和召回設置，創建一個簡單和用戶友好的體驗。為確保可靠的銑削過程,IBD 350具有多種安全功能,包括在銑削時冷卻基板以防止過度銑削或局部溫度升高的空氣噴嘴,以及由探測器控制的光束沖刷設備,可快速記錄基板損壞並停止銑削。VEECO還包括一個自動樣品交換系統，允許高效的試錯過程。結合VEECO的特點IBD-350使其成為各種納米加工工藝的理想選擇。由於其準確可靠的性能,VEECO IBD 350是一種用於各種研究和工業應用的出色解決方案。
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