二手 VEECO Nexus IBE 350i #9186537 待售

VEECO Nexus IBE 350i是由VEECO Instruments Inc制造的離子束蝕刻（IBE）設備。該系統利用獨特的離子銑削工藝在納米範圍內的基板上繪制表面圖樣。IBE是一種專門的蝕刻器，利用高能離子從基板表面去除材料。這一工藝允許去除具有出色蝕刻選擇性和高分辨率特征的矽、砷化的、聚合物、金屬和介電材料等材料。該單元首先用高能離子束轟擊材料表面。這些離子穿透表面，導致化學鍵斷裂，從底物中釋放物質。此過程稱為濺射,占蝕刻過程的大部分。Nexus 350i利用特殊的雙光束機，可以同時進行濺射和蝕刻。這允許更快的蝕刻時間和改進的過程控制。除了雙束工具外，Nexus 350i還憑借其獲得專利的離子束二極管技術能夠輸送高水平的離子電流。這項技術能夠產生幾瓦/平方厘米或更高的極高離子電流密度。這種高水平的電流與極好的精度相結合，使得蝕刻分辨率小於0.2nm的特征成為可能。Nexus 350i還具有兩個主腔室,可實現最佳應用多功能性。主室用於蝕刻，副室用於濺射。這兩個腔室都裝有兩個光源，用於光束控制和陣列設計。資產現在與先進的自動化控制模型集成在一起,該模型允許輕松設置和過程參數調整。總之，Nexus IBE 350i是一種先進的離子銑削蝕刻器，能夠在快速蝕刻的情況下產生高精度和高分辨率。雙梁設備和先進的IBE技術為系統提供了最佳的性能和精度，使其能夠用於各種蝕刻應用。