二手 CYMER ELS 5400 #9104555 待售

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製造商
CYMER
模型
ELS 5400
ID: 9104555
優質的: 1997
Laser Key parts has been replaced 1997 vintage.
CYMER ELS 5400是一種高功率準分子激光器。這種工業級激光器能夠提供各種材料的均勻和可重復的燒蝕,幾乎適合任何生產線。CYMER ELS-5400設計用於多種應用,能夠以高達每小時1,000晶圓的速度處理基板。它靈活的設計允許用戶選擇範圍廣泛的焦點深度和脈沖能量,以滿足他們的生產需求。ELS 5400能夠產生最大脈沖能量為10J的高能均勻線束。激光配備了光束傳遞光學器件,以確保光束在整個基板上的均勻性。這種均勻性允許在集成電路的生產中進行精確的光刻工藝。此外,ELS-5400的線寬可以從0.3 um調整到20 um,允許用戶精確覆蓋他們想要的區域。CYMER ELS 5400包括兩個用戶友好的控制系統-圖形軟件程序和觸摸屏顯示屏。軟件程序允許針對特定過程優化激光參數。這種優化使制造商能夠將能耗降至最低。觸摸屏顯示屏具有可自定義的圖形用戶界面(GUI),使用戶可以輕松訪問參數設置。CYMER ELS-5400的設計也具有成本效益和可靠性。其高效率的激光二極管提供長達100,000小時的超長壽命。這種設計加上低功耗,使用戶能夠節省能源成本。此外,該設備還采用內置的自診斷系統進行設計,監控設備的運行狀況,以確保最佳性能和最大正常運行時間。總體而言,ELS 5400是一款功能強大的激光機器,旨在滿足當今制造領域的需求。直觀的圖形用戶界面,加上節能功能和較長的使用壽命,使ELS-5400成為各種工業過程的經濟高效的解決方案。
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