二手 CYMER ELS 5410 #9205172 待售

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CYMER ELS 5410
已售出
製造商
CYMER
模型
ELS 5410
ID: 9205172
Laser system.
CYMER ELS 5410是一種波長為1,064 nm的激光,用於深紫外光(DUV)光刻和半導體加工。它是為半導體制造工藝和其他相關應用而設計的準分子激光器。它是一種高度可靠的激光器,專為半導體制造制造過程中的工業用途而設計,其長壽命和一致的脈沖性能使其成為當今半導體工業的寶貴工具。CYMER ELS-5410在近乎衍射受限的光束中提供高達8mJ的高脈沖能量和800 MW的峰值功率。其脈沖長度為6 ns,確保適用於介電膜圖案、多晶矽蝕刻、MEMS切割和集成電路光刻等多個應用領域。激光以高達500Hz的重復速率工作,脈沖間抖動低,脈沖重復速率漂移低。ELS 5410可靠性高,壽命超過15000小時。它能夠提供更高的功率輸出,而無需不斷維護和監視設備。激光的玻璃體也提供了熱保護,可以保證接觸它的人員的安全。為了保證激光器的工作效率和精確度,包括激光控制單元在內的ELS-5410閉環系統是完全可調的。控制單元可在脈沖寬度、脈沖能量、調諧和觸發器等多個參數中進行調節,用於半導體加工的多個應用。CYMER ELS 5410是一種高度靈活可靠的機器,用於半導體制造。其精確的光束、高能量和脈沖長度使其成為各種應用的有效工具。該裝置操作可靠,閉環系統,熱防護,操作安全方便。
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