二手 CYMER EX 4000A #9015366 待售

CYMER EX 4000A是一種用於現代半導體制造過程的脈沖準分子激光器。這種高性能激光以248nm的波長提供深紫外線（DUV）輻射。它能夠進行燒蝕、光刻和清潔操作，是蝕刻、標記和切割等光刻過程中必不可少的組成部分。該設備由低壓高效脈沖模塊供電，每平方厘米可提供多達61焦耳的能量。這種高功率輸出允許高能光解離和隨後的燒蝕，從而提供優異的工藝效果。出色的光束輪廓和脈沖能量穩定性使燒蝕性能穩定、均勻，獲得了非常精確的結果。光束均勻性高於80%，折射率小於1.4，散度小於4 mrad。該系統還包括內部和外部快門,可實現無快門操作。該單元包括一個集成的氦硼激光幹涉儀，它提供閉環幹涉控制，以確保精確的脈沖到脈沖的可重復性。這提供了燒蝕操作的精確度。低噪聲發生器進一步有助於減少幹擾和在短集成時間內清除讀數的不必要的歧義。該機還包括488-nm USB、9針RS-232串行端口以及用於現代化輸入的EtherCAT EtherNet/IPTM接口等多種接口選項。EX 4000A的高可靠性和魯棒性使得現場作業能夠長期有效。還提供各種現場備件和附件,以增強工具的性能。該資產包括一個用戶友好的界面，這使得設置和操作簡單和無憂。此外,還可以借助服務平臺對設備進行遠程維修。總體而言，CYMER EX 4000A激光器是專門為現代半導體制造工藝設計的先進激光器模型。它提供堅固的性能、可靠的操作和卓越的光束質量,以實現高精度的操作。廣泛的界面選項確保了操作和維護的方便,而用戶友好的界面則促進了設置和操作的方便。