二手 CYMER EX-5700 #9106784 待售

CYMER EX-5700是為制造而設計的高端準分子激光設備。它為半導體行業的各種光刻工藝提供卓越的性能和卓越的吞吐量。該系統由電源、激光頭、光束輸送光學器件和晶圓處理單元組成。激光頭基於先進的工業級設計，具有氣體消耗低、效率高、壽命長等特點。它由一臺500瓦射頻發電機提供動力，產生193nm波長輻射的高速、擴散光束。然後，這種輻射通過一系列衍射光柵和聚焦透鏡被引導，這些透鏡將光束細化並指向晶圓。光束傳遞光學器件采用優質材料制成，具有低反射和高透射性能。這樣可以確保UV燈正確聚焦,並最大限度地提高吞吐量效率。還可以使用電動伺服遠程調整焦點。晶圓裝卸機由機器人負載鎖、高精度級、專用三點對準工具組成。該工具能夠處理直徑不超過6英寸的晶片,並將其精確定位在200納米的公差範圍內。CYMER EX 5700設計為運行速度非常高，但仍保持光刻工藝的完整性。它也是高度可靠的，需要最低限度的維護。還包括激光百葉窗、報警器、聯鎖等幾個安全功能。所有這些功能相結合，使EX-5700成為一個非常強大和可靠的機器。