二手 CANON PLA 501 #293621683 待售

CANON PLA 501是一種高度精密的掩模對齊器，用於半導體制造。它在半導體工業中被廣泛用於光刻掩模在晶片上的高精度對準。該設備適合生產需要精確模版印刷、細線光刻和高分辨率圖樣的IC。佳能PLA-501實現了半導體器件的高質量制造，提供了高精度和可重復性。它旨在確保光刻面罩和薄膜元件對準的最佳精度和可靠性。該系統采用自動對準技術，可以精確、可重復地對準光刻掩模板和晶片。該裝置配有一個InGaAs監視器,可檢測最大分辨率為107 nm的掩模板邊緣。該傳感器即使在最復雜的設計中也能檢測到光刻膠圖樣的邊緣。此外,該機的設計保證了高分辨率,最大對準精度為5nm。該刀具還包含一個Z級機構，該機構確保掩模板的薄膜層和被對齊的晶圓完全平行對齊，從而提供更精確的對齊過程。PLA 501還能夠對超高分辨率結構進行陣列化。它配備了步進電動機，提供激光的連續發射，允許在遮罩板上形成和圖案化的精細結構。該資產與多種掩模類型兼容，最多可處理150個掩模板。此外，該模型允許創建多達200 000種對齊模式，從而提供了一個高效和可靠的過程。總體而言，PLA-501廣泛應用於半導體制造，提供了可靠高效的工藝。掩模對齊器非常先進，提供精確、可重復的光刻掩模板和晶片對齊。該設備還能夠對超高分辨率結構進行陣列設計，為半導體元件提供靈活性和準確性。