二手 CANON PLA 600 FA #9407646 待售

CANON PLA 600 FA是一款用於半導體制造等相關行業的頂級面罩對齊器。借助光學對準，可以達到高達1 µm的準確率。這意味著它非常適合需要極其精確的項目。自動光對準系統由傳感器頭、對準級和控制板組成。傳感器頭處理來自基板的圖像,然後將其發送到控制板。控制板負責計算和調整對準級的位置，使光掩模在基板上完美對齊。此外，成像系統由高速1200萬像素CCD相機組成，與數字圖像運動學補償算法協同工作，可實現高精度和重復率。這有助於提高工藝的準確性，即使在使用不同的基材尺寸時也是如此。此外，還可以調整主軸傾斜和基板傾斜，以優化光掩模在基板上的對準。CANON PLA-600FA進一步得到直觀控制軟件的支持，該軟件使用戶能夠將照片掩碼舒適、準確地移動到指定的位置。它還包括一個無限的模式識別區域，這使得能夠識別每一個模式在一個單一的照片蒙版。除此之外，它還具有高達0.2µm的模式匹配精度，並且憑借其詳細的電子文檔系統，數據可以很容易地存檔以供將來參考。為了給用戶提供最佳體驗,PLA 600FA還配備了其他功能,例如用於底物泄漏和保護的超高真空泵、用於安全的符合汙染要求的布線以及預對準和掩模清潔功能。所有這些結合在一起，形成了一個強大的掩模對齊器，為廣泛的生產要求提供了精確度和準確性。