二手 EVG / EV GROUP 620 #9165257 待售

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ID: 9165257
優質的: 2008
Mask aligner, 4" BSA Lamphouse: 500W Automatic filter exchanger Conversion kit: 6" 2008 vintage.
EVG/EV GROUP 620掩模對準器是一種強大的工具,用於生產用於關鍵半導體制造加工的高精度掩模。EVG 620利用精密的5軸級、先進的直線電動機和混合空氣/水冷設備,促進直徑達300 mm的基板的可靠、精確的對準和加工。EV GROUP 620集成電路(IC)模具結合對準系統可確保高精度、經濟高效和可重復的光刻結果。它可以靈活放置,並通過10mm Z擺動進行計數,以實現任何IC模具尺寸的完美對齊。此外,它的運動控制單元確保了精確度為10微米的高速、精確對準晶片和基板的良好介質偏轉性能。采用變焦光學和內部濾鏡兩種高分辨率相機進行高精度晶圓對準驗證。相機有一個12倍或8倍的整體變焦,最小特征大小檢測30微米的兩個無圖案和圖案基板。620具有可編程菜單驅動的晶圓對齊機,可以方便地設置和編程所有操作參數。另外還有一個自動校準功能,可以在掩模對準過程中輕松跟蹤基板的尺寸變化。該工具支持正向和負向圖像對齊,並提供快速自動聚焦功能。具有均勻光場的可調照明模塊消除了暗點/亮點,並確保了最小的0.05°傾斜誤差,以實現最簡單、最有效的對準。EVG/EV GROUP 620掩模對準器是半導體制造過程中必不可少的工具,需要高精度和重復性。其強大的運動控制資產、先進的成像技術和可編程的對準參數確保了處理大型基板時的無與倫比的精度。
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